配备电子枪、穴型、腰型或环形坩埚，阻抗式蒸发源;配置光学膜厚控制仪或石英晶体膜厚控制仪，可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制;可选射频RF/考夫曼型/霍尔型离子源。

      该系列的开发是为了满足面向大规模生产的市场需求，设备经过生产验证，高生产率，最低的拥有成本大批量光学元件成本优化生产。可制备AR、UV/IR截止滤光片、AF、硬质膜、装饰膜、ITO膜 、带通滤光片、HR膜等。

AR 膜（基材玻璃透过率＞91.5%）：
■  420-680nm波段，单面平均透过率＞95%，反射率小于0.5（平均值）% ；
■  双面平均透过率＞98%，反射率小于0.5（平均值）%；

AS/AF膜测试标准：
■   初始接触角范围为 115±5°；
■   钢丝绒耐摩擦测试标准：用 0000#钢丝绒，面积为 10*10mm,行程 40 次/分，负载1Kg，5000 次往返摩擦后，接触角大于 100°；
■   橡皮擦测试标准： 直径 6mm 橡皮擦，行程 25 次/分，负载1Kg， 2500 次往返摩擦后，接触角大于 100°；
备注：测试样片玻璃需为经过精密抛光过的触摸屏盖板专用玻璃，表面光洁。